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Detektion fehlerhafter Bondverbindungen in ICs mittels Magnetfeldmessung

Entwicklung und Einsatz eines GMR-Sensorarrays zur örtlich hochaufgelösten Magnetfeldmessung

eBook Detektion fehlerhafter Bondverbindungen in ICs mittels Magnetfeldmessung Cover
Autor
Verlag
Erscheinungsjahr
2019
Seitenanzahl
270
Seiten
ISBN
9783990624128
Format
PDF
Kopierschutz
Wasserzeichen
Geräte
PC
MAC
eReader
Tablet
Preis
15,00
EUR

In Kooperation mit dem Halbleiterhersteller Infineon wurde im Rahmen der vorliegenden Arbeit ein Verfahren zur Detektion fehlender oder nicht vollständig verbundener redundanter Bonddrähte entwickelt. Das Verfahren nutzt die oberhalb des ICs vorliegende Magnetfeldverteilung, um auf den Stromfluss in den parallel geschalteten Bonddrähten zurückzurechnen. Zur örtlich hochaufgelösten Magnetfeldmessung über dem Bauteil wurde ein Zeilenarray, bestehend aus 26 GMRSensorelementen, realisiert. Damit wurde die Feldverteilung oberhalb von mehreren hundert Testchips aufgenommen und mittels Lösung eines inversen Problems der Stromfluss in den Bonddrähten bestimmt.

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