![\"\"](\"https:\/\/www.fachzeitungen.de\/fachbeitraege\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/postie-media88-150x150.jpg\" "\\"optisches")
D\u00fcnnschichtsensor f\u00fcr hochaufgel\u00f6ste Dickenmessung<\/p> D\u00fcnnschichtsensor f\u00fcr hochaufgel\u00f6ste Dickenmessung<\/p>
FRT FTR optimiert ber\u00fchrungslose Messung an Schichten und Schichtsystemen
FRT bringt mit dem D\u00fcnnschichtsensor FTR einen speziellen Sensor f\u00fcr die Dickenmessung transparenter d\u00fcnner Schichten und Schichtsysteme auf den Markt, ein optisches D\u00fcnnschichtreflektometer. Das reflektometrische Verfahren zeichnet sich durch die ber\u00fchrungslose, zerst\u00f6rungsfreie Messung mit sehr hoher Aufl\u00f6sung aus – und ist wegen dieser Eigenschaften besonders f\u00fcr den Einsatz an sensiblen Materialien der Halbleiter-, MEMS- und Solartechnik geeignet.<\/p>
Nanometeraufl\u00f6sung liefert hochpr\u00e4zise Messergebnisse<\/p>
Leicht, klein und verschlei\u00dffrei – das sind die zuverl\u00e4ssigen Eigenschaften des FTR-Messkopfs, der sich besonders gut f\u00fcr transparente, glatte Schichten eignet. Der Messvorgang in Kombination mit einem der Messger\u00e4te von FRT, wie z.B. dem MicroProf 200 l\u00e4uft komplett ber\u00fchrungslos und zerst\u00f6rungsfrei ab. Anwendung findet der Sensor zum Beispiel bei der Dickenmessungen von Oxiden, Nitriden, Fotolack und anderen optisch transparenten Schichten.<\/p>
Messprinzip beruht auf der \u00dcberlagerung von Teilwellen<\/p>
Der FTR D\u00fcnnschichtsensor basiert auf der spektral aufgel\u00f6sten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke d\u00fcnner Schichten mit dem FTR beruht auf der \u00dcberlagerung von Teilwellen, die an den Grenzfl\u00e4chen des d\u00fcnnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit der FRT-eigenen Software liefert die Informationen zur Schichtdicke des Films mit Nanometeraufl\u00f6sung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und visualisiert. Zur neuen Generation des FTR Sensors geh\u00f6rt auch eine umfangreiche, vom Anwender leicht zu erg\u00e4nzende Datenbank mit Brechungsindex und Absorptionsindex einer Vielzahl von Halbleitern, Oxiden, Gl\u00e4sern, Metallen, Resists etc. F\u00fcr die automatisierte Messung (punktuell, Linienprofil oder 3D-Mapping) k\u00f6nnen Rezepte zusammengestellt werden. Mit dem FTR Sensor werden eine hohe Aufl\u00f6sung, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bei der Schichtdickenbestimmung erreicht.<\/p>
Kombination mit anderen Ger\u00e4ten von FRT problemlos m\u00f6glich<\/p>
Der FTR l\u00e4sst sich problemlos mit den Messger\u00e4ten von FRT kombinieren, darunter der MicroSpy FT, der MicroProf 200 und die FRT MFE Ger\u00e4teserie. Damit bietet der D\u00fcnnschichtsensor auch eine sinnvolle Erg\u00e4nzung f\u00fcr bestehende Ger\u00e4te – und der Kunde kann seine Messungen noch besser an den individuellen Bedarf anpassen.<\/p>
FRT auf der SurfaceTechnology<\/p>
Auf der Surface Technology – Messe Hannover werden vom 8.- 12. April 2013 innovative Produkte der industriellen Oberfl\u00e4chentechnik pr\u00e4sentiert. FRT finden Sie in Halle 3, Stand E36.<\/p>
Fries Research & Technology GmbH – the art of metrology
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberfl\u00e4chenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometeraufl\u00f6sung f\u00fcr Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern ber\u00fchrungslos und zerst\u00f6rungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen \u00fcber die Topographie, Struktur, Stufenh\u00f6he, Rauheit, Verschlei\u00df, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar\/Photovoltaik im Einsatz.
Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei K\u00f6ln und unterh\u00e4lt Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.<\/p>
Kontakt
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Christina Abholte
Friedrich-Ebert-Stra\u00dfe
51429 Bergisch Gladbach
02204 843205
abholte@frt-gmbh.com
http:\/\/www.frt-gmbh.com<\/p>
Pressekontakt:
Alpha & Omega PR
Oliver Schillings
Buchenallee 20
51427 Bergisch Gladbach
02204 98799-30
o.schillings@aopr.de
http:\/\/www.aopr.de<\/p>
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