Doktorarbeit / Dissertation aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 2, Technische Universität Chemnitz, 231 Quellen im Literaturverzeichnis, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Arbeit beschreibt die Entwicklung und Evaluierung zweier neuartiger Technologien (Maske und Spacer) zur Erzeugung von Airgap-Strukturen in Mehrebenenmetallisierungen integrierter Schaltkreise. Ausgangspunkt der Arbeit bildet die Aufarbeitung der Thematik der low-k Materialien sowie der aus der Literatur bekannten Airgap-Ansätze. Es werden die beiden entwickelten Konzepte zur Airgap-Erzeugung prinzipiell beschrieben und hinsichtlich der definierten Zielstellungen (konventionelle Prozessierung, Skalierbarkeit, selektiver Eintrag) sowie vergleichend zu alternativen Airgap-Ansätzen diskutiert. Im
Fortgang werden Präparationen beider Technologien vorgestellt und deren Machbarkeit nachgewiesen. Die Erprobung und Optimierung einzelner Prozesse werden dokumentiert. Anhand der funktionsbedingten Anforderungen an Materialien und Grenzflächen werden ausgewählte Integrationsaspekte untersucht. Den Schwerpunkt bildet dabei der Einfluss von Fluorwasserstoffsäure auf elektrisch leitfähige und dielektrische Diffusionsbarrieren, Kupfer sowie deren Verbund. Es werden Möglichkeiten gezeigt, unerwünschte Wechselwirkungen zu minimieren und die Zuverlässigkeit der defektfreien Airgap-Erzeugung zu steigern. Die Arbeit beinhaltet zudem die Charakterisierung von Airgap-Strukturen entsprechend beider Ansätze hinsichtlich ihres elektrischen, thermischen und mechanischen Verhaltens für variierte Geometrien und Materialeigenschaften. Es werden FEM Simulationen genutzt, um Messwerte zu verifizieren, Extrapolationen bei variierten Eingabedaten durchzuführen oder nicht messbare Größen zu extrahieren.
Kaufen Sie hier:
Horizontale Tabs
Weitere E-Books zum Thema: Elektronik - Elektrotechnik - Telekommunikation
Schwerpunktmäßig geht es um elektrische Antriebe mit Drehfeldmaschinen im Leistungsbereich von ca. 100 W bis 100 kW. Vor allem kostengünstige, robuste und wartungsarme Lösungen…
Schwerpunktmäßig geht es um elektrische Antriebe mit Drehfeldmaschinen im Leistungsbereich von ca. 100 W bis 100 kW. Vor allem kostengünstige, robuste und wartungsarme Lösungen…
Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…
Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…
Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…
Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…
Neben der Handhabung des Programms wird auch die Arbeitsweise anhand eines Beispiels ausführlich erklärt. Dabei verzichtet der Autor auf die Erläuterung innerer Abläufe bei der…
Neben der Handhabung des Programms wird auch die Arbeitsweise anhand eines Beispiels ausführlich erklärt. Dabei verzichtet der Autor auf die Erläuterung innerer Abläufe bei der…
Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…
Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…
ARCH+ ist eine unabhängige, konzeptuelle Zeitschrift für Architektur und Urbanismus. Der Name ist zugleich Programm: mehr als Architektur. Jedes vierteljährlich erscheinende Heft beleuchtet ...
Zielgruppe:
Niedergelassene Allgemeinmediziner, Praktiker und
Internisten.
Charakteristik:
Die Ärzte Zeitung liefert 3 x pro Woche bundesweit
an niedergelassene Mediziner ...
Zeitschrift der NaturFreunde in Württemberg
Die Natur ist unser Lebensraum: Ort für Erholung und Bewegung, zum Erleben und Forschen; sie ist ein schützenswertes Gut. Wir sind aktiv in der Natur ...
Die Fachzeitschrift FREIE WERKSTATT berichtet seit der ersten Ausgaben 1994 über die Entwicklungen des Independent Aftermarkets (IAM). Hauptzielgruppe sind Inhaberinnen und Inhaber, Kfz-Meisterinnen ...
Einzige Gartenzeitung mit Anleitungen und Erfahrungsberichten zum biologisch-dynamischen Anbau im Hausgarten (Demeter-Anbau). Mit regelmäßigem Arbeitskalender, Aussaat-/Pflanzzeiten, Neuigkeiten ...
SPORT in BW (Württemberg) ist das offizielle Verbandsorgan des Württembergischen Landessportbund e.V. (WLSB) und Informationsmagazin für alle im Sport organisierten Mitglieder in Württemberg. ...
Mitteilungen der Deutschen Gesellschaft für Individualpsychologie e.V. (DGIP) für ihre Mitglieder Die Mitglieder der DGIP erhalten viermal jährlich das Mitteilungsblatt „DGIP-intern“ ...
Prüfungs- und Praxiswissen für Großhandelskaufleute
Mehr Erfolg in der Ausbildung, sicher in alle Prüfungen gehen, im Beruf jeden Tag überzeugen: „Die Großhandelskaufleute“ ist die ...
Das Fachmagazin building & automation bietet dem Elektrohandwerker und Elektroplaner eine umfassende Übersicht über alle Produktneuheiten aus der Gebäudeautomation, der Installationstechnik, dem ...
Über »Evangelische Theologie«
In interdisziplinären Themenheften gibt die Evangelische Theologie entscheidende Impulse, die komplexe Einheit der Theologie wahrzunehmen. Neben den Themenheften ...