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Einführung in die Mikrosystemtechnik

Ein Kursbuch für Studierende

AutorGerald Gerlach, Wolfram Dötzel
VerlagCarl Hanser Fachbuchverlag
Erscheinungsjahr2006
Seitenanzahl386 Seiten
ISBN9783446405233
FormatPDF
KopierschutzWasserzeichen/DRM
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis23,99 EUR
Ein Kursbuch für Studierende mit 49 Beispielen und 54 Aufgaben

Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht.

Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen.

Über 100 Beispiele und Aufgaben helfen dem Leser, die vielfältigen Facetten der Mikrosystemtechnik erlebbar zu machen und die erworbenen Kenntnisse zu vertiefen. Das Buch basiert auf Vorlesungen an den Technischen Universitäten Dresden und Chemnitz. Es ist vor allem für Studenten geschrieben, die Mikrosystemtechnik als Haupt-, Wahl- oder Nebenfach belegen, wird aber auch Ingenieuren und Facharbeitern als Wissensspeicher und Nachschlagewerk sehr nützlich sein.

Die Autoren

Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach ist Inhaber des Lehrstuhls für Festkörperelektronik an der TU Dresden und hält Vorlesungen zur Mikrotechnik, Sensorik und Festkörper- und Optoelektronik.

Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel ist Inhaber des Lehrstuhls für Mikrosystem- und Gerätetechnik an der TU Chemnitz und hält Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik und Feinwerktechnik/Mikromechanik.

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Kapitelübersicht
  1. Vorwort und Inhaltsverzeichnis
  2. Einführung
  3. Skalierung und Ähnlichkeit
  4. Werkstoffe
  5. Mikrotechnische Fertigungsverfahren
  6. Aufbau- und Verbindungstechnik
  7. Funktions- und Formelemente der Mikrosystemtechnik
  8. Sensoren und Aktoren
  9. Entwurf von Mikrosystemen
  10. Einfluss technologischer Prozesse auf Mikrosystemeigenschaften
  11. Anhang
  12. Symbol-, Abkürzungs- und Stichwortverzeichnis
Leseprobe
6 Funktions- und Formelemente der Mikrosystemtechnik (S. 209-210)

Funktions- und Formelemente sind die Grundbausteine zum Aufbau von mikromechanischen, mikrooptischen, mikrofluidischen und anderen Mikrokomponenten. Mikrokomponenten sind abgeschlossene Funktionseinheiten, die durch ihr Zusammenwirken eine gewünschte Systemfunktion realisieren. Mikrokomponenten haben Strukturen im Mikrometer-Bereich, ihre technische Funktion beruht auf der Mikrogestalt. Diese Definition [NEXUS02] charakterisiert, dass in der Mikrosystemtechnik Funktion und Form sehr eng aneinander gebunden sind: Konstruktion, Werkstoff und Technologie eines Elementes sind untereinander und mit der zu realisierenden Funktion stärker verflochten, als das in klassischen Disziplinen wie Feinwerktechnik, Elektrotechnik oder Maschinenbau der Fall ist.

Das Doppelwort „Funktions- und Formelement" drückt diesen Sachverhalt auch sprachlich aus. Ein anschauliches Beispiel ist die Realisierung eines integrierten Widerstandes in Silizium (Bild 6.1). Der Widerstand ergibt sich aus R= pl/A = pl/hb, wobei l, b und h Länge, Breite und Dicke und ρ der spezifische Widerstand sind. Der Quotient ρ/h wird durch die Technologie (Ionenimplantation: Energie, Ionenart, Substrat), der Quotient l/b wird durch die Konstruktion (Maske) bestimmt: Der Wert von R ist nur durch exaktes Zusammenwirken von Konstruktion, Werkstoff und Technologie genau einstellbar.

6.1 Mechanische Elemente

Die mikromechanischen Funktions- und Formelemente können in zwei Gruppen eingeteilt werden: statische und dynamische Elemente (Tabelle 6.1). Nachfolgend werden als exemplarische Vertreter mikromechanischer Funktions- und Formelemente schwingfähige Feder-Masse-Anordnungen betrachtet. Sie werden oft als Grundelemente von sensorischen und aktorischen Wandlern (Kapitel 7) angewendet, z.B. als Signalwandler für physikalische Größen wie Beschleunigung, Drehrate, Neigung, Kraft, Druck oder als Energiewandler für steuerbare Spiegel oder Ventile. Dabei verbindet ein Federelement eine bewegliche Masse mit einem ortsfesten Rahmen und erzeugt eine von der Auslenkung der Masse abhängige Rückstellkraft.

Typische Federelemente in der Silizium-Mikromechanik sind Biegebalken, Torsionsbalken und Membranen. Unterschiedliche Gestaltung der Aufhängung der beweglichen Massen am Rahmen und unterschiedliche Dimensionierung ermöglichen, wichtige Parameter wie Empfindlichkeit, Querempfindlichkeit, Eigenfrequenz oder die maximal auftretende Spannungen in den Federn konstruktiv zu beeinflussen.

Besonders in der frühen Entwurfsphase sind analytische Beschreibungen eine nützliche Hilfe bei der Auswahl von prinzipiell geeigneten Funktions- und Formelementen. Mit vereinfachenden Annahmen und unter Berücksichtigung der verfügbaren Technologie können sie so dimensioniert werden, dass vorgegebene Funktionseigenschaften näherungsweise erfüllt werden. Oft kann vorgegebenen Anforderungen auch durch eine Modifikation bereits erprobter Formelemente entsprochen werden, die in Modellbibliotheken gespeichert sind. Eine umfassende Verhaltensanalyse zum Nachweis der Funktionseigenschaften und der mechanischen Zuverlässigkeit erfordert numerische Berechnungsprogramme, z. B. auf der Basis der Finiten Elemente Methode (s. Kapitel 8).
Inhaltsverzeichnis
Vorwort6
Inhaltsverzeichnis8
1 Einführung14
1.1 Was ist ein Mikrosystem?17
1.2 Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik21
1.3 Anwendungsfelder und Entwicklungstrends23
1.4 Beispiel Drehratensensor24
2 Skalierung und Ähnlichkeit32
Skalierung32
Ähnlichkeit und Kennzahlen38
3 Werkstoffe44
Übersicht44
Einkristallines Silizium48
Beschreibung der Orientierung von Flächen und Ri49
Oberflächeneigenschaften bei verschiedener Orien56
Anisotrope elastische Eigenschaften57
Festigkeit60
Siliziumscheiben64
Gläser68
Allgemeine Eigenschaften von Glas69
Viskoelastisches Verhalten70
Gläser in der Mikrosystemtechnik72
Polymere74
Thermoplastische Werkstoffe in der Mikrosystemtechnik75
Allgemeine Eigenschaften75
Mechanische Eigenschaften76
Thermoplastische Polymere76
Fotoresist78
Negativresiste79
Positivresiste79
Dünnschichten80
Siliziumoxid, Siliziumnitrid83
Elektrisch leitende Schichten85
Polysiliziumschichten85
Materialeigenschaften im Vergleich86
4 Mikrotechnische Fertigungsverfahren89
Überblick89
Reinheit in der Fertigung95
Reinraumtechnik96
Ausbeute97
Reinraum98
Waferreinigung100
Lithografie102
Prinzip102
Lithografischer Prozess103
Minimal strukturierbare Linienbreiten106
Doppelseitenlithografie107
Lithografie in stark profilierten Strukturen107
Schichtherstellung108
Überblick108
Schichtkonformität110
Thermische Oxidation110
Aufdampfen112
Sputtern114
Chemische Gasphasenabscheidung116
Vergleich118
Schichtstrukturierung119
Grundlagen119
Nassätzen121
Trockenätzen121
Lift-off-Prozess124
Anisotropes nasschemisches Tiefenätzen124
Prinzip125
Anisotrope Ätzlösungen126
Ätzraten127
Ätzstoppverfahren130
Ätzfiguren132
Ätzratendiagramme132
Herausbildung von Ätzfiguren134
Unterätzung konvexer Ecken140
Entwurf von Ätzmasken141
Dotierung143
Diffusion143
Diffusionsgesetz144
Dotierquellen145
Diffusionsprofil145
Thermisches Budget146
Ionenimplantation147
Dotierungsprofil147
Strahlenschäden und Ausheilung149
Anwendung149
Vergleich der Dotierungsverfahren149
Verbindungsverfahren150
Eutektisches Bonden151
Anodisches Bonden152
Siliziumdirektbonden153
Vergleich der Verbindungsverfahren153
Isolationstechniken154
SIMOX-Verfahren155
BESOI-Verfahren156
Smart-Cut-Verfahren158
Oberflächenmikromechanik159
Prinzip159
Herstellung von Hohlräumen162
Haften beweglicher Strukturen165
Haftung durch Flüssigkeitsfilme165
Vermeidung von haftenden Strukturen166
Vergleich von Volumen- und Oberflächenmikromecha168
Oberflächennahe Mikromechanik168
Prinzip169
Verfahren169
a)SCREAM-Prozess169
b)SIMPLE-Prozess171
HARMST172
Begriffsbestimmung172
LIGA-Verfahren172
Miniaturisierte klassische Verfahren174
Mikrospritzgießen176
Mikroheißprägen179
Mikrozerspanen180
Auswahl von mikrotechnischen Fertigungsverfahren183
BookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 185BookmarkBeginBookmarkTitle: a)Grundformen und Synthese der GesamtgestaltBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 185BookmarkBeginBookmarkTitle: b)FormbegrenzungBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 185BookmarkBeginBookmarkTitle: c)Auswahl der VerfahrensschritteBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 185BookmarkBeginBookmarkTitle: 5 Aufbau- und VerbindungstechnikBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 191BookmarkBeginBookmarkTitle: Aufgaben und AnforderungenBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 191BookmarkBeginBookmarkTitle: AufgabenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 191BookmarkBeginBookmarkTitle: Zuverlässigkeitsgerechtes PackagingBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 195BookmarkBeginBookmarkTitle: Funktionen der Aufbau- und VerbindungstechnikBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 196BookmarkBeginBookmarkTitle: Mechanische VerbindungenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 197BookmarkBeginBookmarkTitle: SubstratwerkstoffeBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 197BookmarkBeginBookmarkTitle: Monolithische versus HybridintegrationBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 198BookmarkBeginBookmarkTitle: Thermische AnpassungBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 200BookmarkBeginBookmarkTitle: Elektrische VerbindungenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 201BookmarkBeginBookmarkTitle: WärmeabführungBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 202BookmarkBeginBookmarkTitle: Verkapselung und GehäusungBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 203BookmarkBeginBookmarkTitle: a)BeschichtungenBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 203BookmarkBeginBookmarkTitle: b)TrennmembranenBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 204BookmarkBeginBookmarkTitle: c)VerkapselungBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 204BookmarkBeginBookmarkTitle: d)Hermetische AbdichtungBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 205BookmarkBeginBookmarkTitle: 6 Funktions- und Formelemente der MikrosystemtechnikBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 210BookmarkBeginBookmarkTitle: Mechanische ElementeBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 210BookmarkBeginBookmarkTitle: Empfindlichkeit in NutzrichtungBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 213BookmarkBeginBookmarkTitle: QuerempfindlichkeitBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 216BookmarkBeginBookmarkTitle: EigenfrequenzBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 217BookmarkBeginBookmarkTitle: DämpfungBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 217BookmarkBeginBookmarkTitle: GüteBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 219BookmarkBeginBookmarkTitle: AmplitudengangBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 219BookmarkBeginBookmarkTitle: Spannung an der EinspannstelleBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 220BookmarkBeginBookmarkTitle: Fluidische ElementeBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 225BookmarkBeginBookmarkTitle: Kennzahlen und ModellsystemeBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 225BookmarkBeginBookmarkTitle: ElementtypenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 229BookmarkBeginBookmarkTitle: Fluidischer WiderstandBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 229BookmarkBeginBookmarkTitle: b\)Fluidische 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b)Thermische Ausdehnung von BimaterialienBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 282BookmarkBeginBookmarkTitle: c\)Thermische Ausdehnung von Gasen und FlüssigkBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 285BookmarkBeginBookmarkTitle: Piezoresistive WandlerBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 287BookmarkBeginBookmarkTitle: a)Piezoresistiver EffektBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 287BookmarkBeginBookmarkTitle: b)Piezoresistive SensorenBookmarkLevel: 4BookmarkPageNumber: 292BookmarkBeginBookmarkTitle: 8 Entwurf von MikrosystemenBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 307BookmarkBeginBookmarkTitle: Entwurfsmethoden und WerkzeugeBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 307BookmarkBeginBookmarkTitle: Systeme mit konzentrierten ParameternBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 314BookmarkBeginBookmarkTitle: Verhaltensbeschreibung elektromechanischer SystemeBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 314BookmarkBeginBookmarkTitle: Analyse des statischen Verhaltens elektromechaniBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 315BookmarkBeginBookmarkTitle: Analyse elektromechanischer Systeme bei harmonischen LastenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 318BookmarkBeginBookmarkTitle: Transiente Analyse elektromechanischer SystemeBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 322BookmarkBeginBookmarkTitle: Systeme mit verteilten ParameternBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 325BookmarkBeginBookmarkTitle: Verhaltensbeschreibung mittels analytischer ModelleBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 325BookmarkBeginBookmarkTitle: Numerische Methoden auf der Basis der Finiten-Elemente-MethodeBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 328BookmarkBeginBookmarkTitle: Makromodellierung komplexer Systeme durch OrdnungsreduktionBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 330BookmarkBeginBookmarkTitle: 9 Einfluss technologischer Prozesse auf MikrosystemeigenschaftenBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 339BookmarkBeginBookmarkTitle: Parameterbasierter MikrosystementwurfBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 339BookmarkBeginBookmarkTitle: Robuster MikrosystementwurfBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 343BookmarkBeginBookmarkTitle: AnhangBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 352BookmarkBeginBookmarkTitle: Anhang A Physikalische KonstantenBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 352BookmarkBeginBookmarkTitle: Anhang B KoordinatentransformationBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 353BookmarkBeginBookmarkTitle: B.1 Elastische KoeffizientenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 354BookmarkBeginBookmarkTitle: B.2 Piezoresistive KoeffizientenBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 357BookmarkBeginBookmarkTitle: Anhang C Eigenschaften von Siliziumoxid- und Siliziumnitrid-SchichtenBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 360BookmarkBeginBookmarkTitle: Anhang D Nomenklatur von DünnschichtprozessenBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 362BookmarkBeginBookmarkTitle: Anhang E Haftung bei oberflächen-mikromechaniscBookmarkLevel: 2BookmarkPageNumber: 365BookmarkBeginBookmarkTitle: E.1 KapillarkräfteBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 365BookmarkBeginBookmarkTitle: E.2 Kritische Länge von BiegefedernBookmarkLevel: 3BookmarkPageNumber: 366BookmarkBeginBookmarkTitle: SymbolverzeichnisBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 368BookmarkBeginBookmarkTitle: AbkürzungsverzeichnisBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 376BookmarkBeginBookmarkTitle: StichwortverzeichnisBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 381BookmarkBeginBookmarkTitle: Mehr eBooks bei www.ciando.comBookmarkLevel: 1BookmarkPageNumber: 0PageMediaBeginPageMediaNumber: 1PageMediaRotation: 0PageMediaRect: 0 0 595 842PageMediaDimensions: 595 842PageMediaBeginPageMediaNumber: 2PageMediaRotation: 0PageMediaRect: 0 0 595 842PageMediaDimensions: 595 842PageMediaCropRect: 170.079 249.449 595 842PageMediaBeginPageMediaNumber: 3PageMediaRotation: 0PageMediaRect: 0 0 595 842PageMediaDimensions: 595 842PageMediaCropRect: 170.079 249.449 595 842PageMediaBeginPageMediaNumber: 4PageMediaRotation: 0PageMediaRect: 0 0 595 842PageMediaDimensions: 595 842PageMediaCropRect: 170.079 249.449 595 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a)Grundformen und Synthese der Gesamtgestalt185
b)Formbegrenzung185
c)Auswahl der Verfahrensschritte185
5 Aufbau- und Verbindungstechnik191
Aufgaben und Anforderungen191
Aufgaben191
Zuverlässigkeitsgerechtes Packaging195
Funktionen der Aufbau- und Verbindungstechnik196
Mechanische Verbindungen197
Substratwerkstoffe197
Monolithische versus Hybridintegration198
Thermische Anpassung200
Elektrische Verbindungen201
Wärmeabführung202
Verkapselung und Gehäusung203
a)Beschichtungen203
b)Trennmembranen204
c)Verkapselung204
d)Hermetische Abdichtung205
6 Funktions- und Formelemente der Mikrosystemtechnik210
Mechanische Elemente210
Empfindlichkeit in Nutzrichtung213
Querempfindlichkeit216
Eigenfrequenz217
Dämpfung217
Güte219
Amplitudengang219
Spannung an der Einspannstelle220
Fluidische Elemente225
Kennzahlen und Modellsysteme225
Elementtypen229
Fluidischer Widerstand229
b\)Fluidische Kapazität231
c\)Fluidische Trägheit231
Fluidische Schnittstellen232
Entwurf mikrofluidischer Elemente und Komponenten232
a)Entwurf mikrofluidischer Elemente233
b)Entwurf mikrofluidischer Komponenten235
Thermische Elemente237
Thermisch-elektrische Analogien238
Grundgleichungen für den Wärmetransport238
Ersatzschaltungen243
7 Sensoren und Aktoren251
Umkehrbare und parametrische Wandler252
Umkehrbare Wandler252
Parametrische Wandler259
Stationäre umkehrbare Wandler261
Wandler für Sensoren und Aktoren264
Elektrostatische Wandler264
Piezoelektrische Wandler270
Elektrodynamische Wandler273
Thermomechanische Wandler279
a\)Thermische Ausdehnung von Festkörpern280
b)Thermische Ausdehnung von Bimaterialien282
c\)Thermische Ausdehnung von Gasen und Flüssigk285
Piezoresistive Wandler287
a)Piezoresistiver Effekt287
b)Piezoresistive Sensoren292
8 Entwurf von Mikrosystemen307
Entwurfsmethoden und Werkzeuge307
Systeme mit konzentrierten Parametern314
Verhaltensbeschreibung elektromechanischer Systeme314
Analyse des statischen Verhaltens elektromechani315
Analyse elektromechanischer Systeme bei harmonischen Lasten318
Transiente Analyse elektromechanischer Systeme322
Systeme mit verteilten Parametern325
Verhaltensbeschreibung mittels analytischer Modelle325
Numerische Methoden auf der Basis der Finiten-Elemente-Methode328
Makromodellierung komplexer Systeme durch Ordnungsreduktion330
9 Einfluss technologischer Prozesse auf Mikrosystemeigenschaften339
Parameterbasierter Mikrosystementwurf339
Robuster Mikrosystementwurf343
Anhang352
Anhang A Physikalische Konstanten352
Anhang B Koordinatentransformation353
B.1 Elastische Koeffizienten354
B.2 Piezoresistive Koeffizienten357
Anhang C Eigenschaften von Siliziumoxid- und Siliziumnitrid-Schichten360
Anhang D Nomenklatur von Dünnschichtprozessen362
Anhang E Haftung bei oberflächen-mikromechanisc365
E.1 Kapillarkräfte365
E.2 Kritische Länge von Biegefedern366
Symbolverzeichnis368
Abkürzungsverzeichnis376
Stichwortverzeichnis381
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